クリーンルームで使える、ウエハーを収納して運ぶボックス容器

クリーンルーム対応のESD対策ウエハー用ケース

一般のプラスチック容器や樹脂製品は、静電気で粉塵を吸着して持ち込んでパーティクル汚染の原因になるため、クリーンルームに持ち込みません。
クリーンルームにウエハーを持ち込む容器を使いたいときは、「クリーンルーム用導電性ウエハーケース」を使用します。

本製品には優れた静電気帯電防止の特性を持つ導電性PP樹脂を採用しており、 静電気によるホコリの付着がなく、静電気の帯電放電による電子部品の破壊を防止します。
また密封性に優れているため蓋を閉めることで完全密閉し、外部からホコリが入らずクリーンな状態を保持でき（6″汎用を除く）、段積みができるので容器を重ねても安定してウエハーを運搬できます。

さらに強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。

クリーンルームに持ち込める、4種類の静電気対策ウエハーケース

クリーンルームで使うウエハー用ケースは、ESD静電気対策が必要です。

クリーンルーム用導電性ウエハー容器MK-WBR 特徴・用途

超帯電防止ファイルの特徴

• 導電性カーボンを樹脂に添加して、安定した導電性を実現しました。
• 表面抵抗値は10^(8乗) [Ω]以下と非常に優れています。
• 蓋を閉めることで完全密封が可能です。（6″汎用を除く）
• 約10度回してフタを閉じて、ロックができます。（8″のみ）
• 段積仕様の製品なので、積み重ねてもズレずに安定します。

用途例

• クリーンルームで使用するウエハーを運ぶケースとして。
• ESD静電気対策が必要なエリアで使用するとき。
• 密封性が必要なプラスチック容器として。